提供6英寸GaAs pHEMT外延片:
(1)二维电子气浓度:2E12~1E13 cm-2;
(2)迁移率:6000~8500 cm2/V×s;
(3)方阻均匀性好于2%,厚度均匀性好于1%;
(4)界面电荷低,漏电流小。
提供4英寸InP pHEMT外延片:
(1)二维电子气浓度:1E12~3E12 cm-2;
(2)迁移率:10000~13000 cm2/V×s;
(3)方阻均匀性好于2%。